JIS C5630-28-2020 pdf download.マイクロマシン及びMEMS− 第28部：MEMSエレクトレット振動発電デバイスの性能試験方法
1 適用範囲
この規格は，MEMSエレクトレット1) 振動発電デバイスの用語及びその定義，並びに民生用，産業用又はあらゆる用途のエレクトレット振動発電デバイスの特性パラメーターを決めるための性能試験方法について規定する。 この規格は，トラップ電荷をもつ誘電体材料で覆われた電極が間隔1 000 μm以下の対向電極をもつ振動発電デバイスに適用する。
対象としているエレクトレット振動発電デバイスは，エッチング，フォトリソグラフィー又はデポジション技術を含むMEMS工程によって製造されたものである。 注記 この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号を，次に示す。 IEC 62047-28:2017，Semiconductor devices−Micro-electromechanical devices−Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices（IDT）
なお，対応の程度を表す記号“IDT”は，ISO/IEC Guide 21-1に基づき，“一致している”ことを示す。
注1) エレクトレットとは，振動発電デバイス及びマイクロフォンなどに応用される，半永久的な電荷をもつ誘電体（絶縁体）のことである。
2 引用規格 この規格には，引用規格はない。
3 用語及び定義 この規格で用いる主な用語及び定義は，次による。
3.1 振動周波数（vibration frequency） MEMSエレクトレット振動発電デバイスに加えられる振動周波数。
3.2 振動加速度（vibration acceleration） MEMSエレクトレット振動発電デバイスに加えられる加速度。
3.3 振幅（amplitude） MEMSエレクトレット振動発電デバイスに加えられる振動の最大振れ幅。
3.4 振動方向（vibration direction） MEMSエレクトレット振動発電デバイスに加えられる振動の方向。
4 振動試験の装置
4.1 一般 図1は，MEMSエレクトレット振動発電デバイスの試験装置の基本構成であり，指定の周波数及び指定の加速度条件下で振動動作が可能な試験装置を示している。図1で示した機能ブロック又はコンポーネントの詳細を，4.2〜4.6で説明するJIS C5630-28 pdf download.