JIS B9920-1-2019 pdf download.クリーンルーム及び関連する制御環境− 第1部：浮遊粒子数濃度による空気清浄度の分類.
3.3.3 通常運転時（operational） 適切な人員で，設定どおりに設備が機能し，適切な方法で運用している状態。
3.4 測定装置（附属書F参照）
3.4.1 分解能（resolution） 対応する指示値に認知可能な変化を引き起こす，測定され得る最小の定量変化。 注記 分解能は，
例えば，ノイズ（内部又は外部）又は摩擦に依存することがある。また，測定される量の値にも依存することがある。 ［出典：ISO/IEC Guide 99:2007，4.14］
3.4.2 最大許容測定誤差（maximum permissible measurement error） 既知の参照値に関して，ある与えられた測定，測定器又は測定システムの仕様又は規則で許されている測定誤差の値。 注記1 上限又は下限のように二つの値がある場合にも，通常“最大許容誤差”又は“限界誤差”という用語が使用されている。
注記2 “最大許容誤差”を指すときは“公差（Tolerance）”という用語は用いないほうがよい。 ［出典：ISO/IEC Guide 99:2007，4.26］
3.5 測定装置の仕様
3.5.1 光散乱式気中粒子計数器，LSAPC（light scattering airborne particle counter，light scattering discrete airborne particle counter） 個々の浮遊粒子を計数及び粒径測定し，粒径データを光散乱相当径として表示することのできる装置。 注記 LSAPCの仕様は，JIS B 9921参照。
3.5.2 単一粗大粒子計数器（discrete-macroparticle counter） 個々の粗大粒子を計数及び粒径測定することのできる装置。 注記 仕様は，表F.1参照。
3.5.3 飛行時間型粒径測定器（time-of-flight particle sizing apparatus） 粒子が空気速度の変化に適応する時間を測定することによって，粒子の空気力学的直径を定める単一粒子数測定及び粒径測定装置。 注記1 通常，流体の流速変化後の粒子通過時間を光学的に測定する。 注記2 仕様は，表F.2参照。
4 クラス分類
4.1 占有状態 クリーンルーム又はクリーンゾーンにおける粒子数濃度による清浄度クラスは，3種類の占有状態，すなわち，施工完了時，製造装置設置時及び通常運転時の一つ以上の状態で定義される（3.3参照）。
4.2 粒径 浮遊粒子清浄度クラスの濃度を決定するために，しきい値（下限）粒径である0.1 μmから5 μmまでの範囲内にある一つ以上の粒径を使用する。
4.3 清浄度クラス数 浮遊粒子数濃度による清浄度は，清浄度クラス数Nで表記しなければならない。それぞれの対象粒径に対する上限粒子数濃度は，表1から求める。 表1の異なるしきい値粒径に対する粒子数濃度は，実際の空気中の粒径及び粒子分布を表しているものではなく，クラス分類の基準値として使用する。クラス分類計算の例を，附属書Bに示す。JIS B9920-1 pdf download.